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G2.5蒸镀设备


应用场景:应用于OLED车灯和车显、OLED照明、智能穿戴等小尺寸OLED面板量产   

 

产品应用

                                                                                                                                     


– 可蒸镀基板尺寸370mm*470mm

– Cluster Type

– 标准化

– 模块化

– 成膜均匀性高

– 使用光学对位,对位精度高

– 运营稳定



技术优势

                                                                                                                                     


– 有机材料利用率高

– 可满足客户定制需求

– Particle 最少化

– 具备Auto PID,蒸镀稳定,成膜均匀

– 高信赖性,可实现长时间稳定稼动生产(MTFR≥720hour)  


产品参数
G2.5蒸镀设备 规格参数
基板 370mm*470mm
生产节拍 5分钟
生产时间 ≥144小时
膜厚均匀性:有机材料 ≤2% (片内);≤3%(片间)
膜厚均匀性:金属材料 ≤3% (片内);≤2%(片间)
速率稳定性(0.01Å/s- 3Å/s)有机材料 Host: ≤±2%,@1.0Å/s
速率稳定性(0.01Å/s- 3Å/s)Dopant ≤±3%,@0.01Å/s
速率稳定性(0.01Å/s- 3Å/s)金属材料 ≤±2%,@1.0Å/s;≤±3%,@0.01Å/s
对位 ≤±3μm(CCD)
产品详情



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